半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)核心設(shè)備之一的光刻機(jī)跑出只大牛股，張江高科周五收盤(pán)實(shí)現(xiàn)8天5板，8月25日迄今股價(jià)累計(jì)最大漲幅達(dá)86.33%，藍(lán)英裝備9.6-9.13期間6個(gè)交易日收獲3個(gè)20cm漲停，廣信材料9.5-9.11期間5個(gè)交易日獲3個(gè)20cm漲停。中信證券研報(bào)指出，據(jù)中國(guó)日?qǐng)?bào)報(bào)道，荷蘭發(fā)放光刻機(jī)年內(nèi)發(fā)運(yùn)許可，ASML將能夠在2023年底前繼續(xù)向中國(guó)出口其N(xiāo)XT：2000i和更先進(jìn)的DUV光刻設(shè)備，看好半導(dǎo)體設(shè)備增量空間。
其中，16個(gè)交易日股價(jià)累計(jì)暴漲近九成的張江高科，公司投資的上海微電子旗下已有多個(gè)系列光刻機(jī)產(chǎn)品。據(jù)財(cái)聯(lián)社電報(bào)解讀欄目此前聯(lián)合星礦數(shù)據(jù)不完全梳理，上海電氣、東方明珠、金力泰、海立股份、茂萊光學(xué)、炬光科技、富創(chuàng)精密、美埃科技和蘇大維格等A股上市公司均為上海微電子相關(guān)標(biāo)的，具體情況如下：
據(jù)中信證券研報(bào)梳理，在半導(dǎo)體設(shè)備各細(xì)分領(lǐng)域，清洗設(shè)備國(guó)內(nèi)廠商包括盛美上海、北方華創(chuàng)、至純科技和芯源微；CMP設(shè)備國(guó)內(nèi)廠商有華海清科、中電科45所；薄膜沉積設(shè)備國(guó)內(nèi)廠商有北方華創(chuàng)、拓荊科技；刻蝕設(shè)備國(guó)內(nèi)廠商有中微公司、北方華創(chuàng)和屹唐半導(dǎo)體等；涂膠顯影設(shè)備國(guó)內(nèi)廠商有芯源微；離子注入設(shè)備的國(guó)內(nèi)廠商有萬(wàn)業(yè)企業(yè)、中科信；光刻設(shè)備的國(guó)內(nèi)廠商有上海微電子等；過(guò)程量檢測(cè)設(shè)備的國(guó)內(nèi)廠商有精測(cè)電子等。
浙商證券程兵等研報(bào)指出，從全球半導(dǎo)體設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)格局來(lái)看，半導(dǎo)體產(chǎn)線中最具價(jià)值量環(huán)節(jié)（光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積）的三大海外龍頭分別是：阿斯麥、拉姆研究、應(yīng)用材料，形成了穩(wěn)態(tài)競(jìng)爭(zhēng)格局。因此，程兵認(rèn)為假以時(shí)日，海外發(fā)展規(guī)律也會(huì)在大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)復(fù)刻，對(duì)應(yīng)國(guó)內(nèi)三大領(lǐng)域設(shè)備龍頭分別是：上海微電子、中微公司、北方華創(chuàng)。
如上圖所示，刻蝕機(jī)（20%）的價(jià)值量?jī)H次于光刻機(jī)（30%），中微公司為刻蝕設(shè)備本土替代領(lǐng)軍者，華鑫證券毛正等9月14日研報(bào)指出，中微公司上半年實(shí)現(xiàn)營(yíng)收25.27億元，同比增長(zhǎng)28.13%。分產(chǎn)品來(lái)看，公司刻蝕設(shè)備在國(guó)內(nèi)外的市占率不斷提高，實(shí)現(xiàn)收入17.22億元，同比增長(zhǎng)約32.53%；MOCVD設(shè)備在藍(lán)綠光LED生產(chǎn)線上繼續(xù)保持絕對(duì)領(lǐng)先的地位，實(shí)現(xiàn)收入2.99億元，同比增長(zhǎng)約24.11%。
毛正指出，中微公司針對(duì)28nm及以下邏輯器件的一體化大馬士革刻蝕工藝開(kāi)發(fā)的可調(diào)節(jié)電極間距的CCP刻蝕機(jī)PrimoSD-RIE已經(jīng)進(jìn)入客戶(hù)驗(yàn)證階段；超高深寬比刻蝕機(jī)已經(jīng)在客戶(hù)端驗(yàn)證出具有刻蝕≥60:1深寬比結(jié)構(gòu)的能力；ICP刻蝕設(shè)備在12英寸的3D芯片的硅通孔刻蝕工藝上得到成功驗(yàn)證，在全面滿(mǎn)足55nm、40nm和28nm邏輯芯片制造中ICP刻蝕工藝要求的基礎(chǔ)上，拓展了在先進(jìn)邏輯、先進(jìn)DRAM、更多層的3DNAND存儲(chǔ)芯片和特色器件等芯片制造中的應(yīng)用范圍。此外，公司積極布局用于功率器件應(yīng)用的第三代半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)，用于氮化鎵功率器件生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備PrismoPD5®目前已交付國(guó)內(nèi)外領(lǐng)先客戶(hù)進(jìn)行生產(chǎn)驗(yàn)證，并且正在開(kāi)發(fā)下一代用于氮化鎵功率器件制造的新型MOCVD設(shè)備。
浙商證券邱世梁等9月6日發(fā)布的研報(bào)指出，北方華創(chuàng)是中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)化龍頭，集成電路覆蓋刻蝕、沉積、清洗、熱處理、外延設(shè)備等。其中，ICP刻蝕設(shè)備國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，新品深硅刻蝕設(shè)備實(shí)現(xiàn)批量出貨，12寸CCP晶邊刻蝕機(jī)進(jìn)入多家生產(chǎn)線驗(yàn)證；薄膜沉積設(shè)備突破PVD、CVD、ALD等沉積工藝，銅互聯(lián)、鋁、鎢、硬掩模等二十余款沉積設(shè)備成為國(guó)內(nèi)主流芯片廠的優(yōu)選機(jī)臺(tái)。
此外，海通國(guó)際周揚(yáng)等9月1日研報(bào)指出，北方華創(chuàng)上半年新簽訂單飽滿(mǎn)，同比增長(zhǎng)超30%，且以半導(dǎo)體訂單為主。同時(shí)，海外龍頭ASML/AMAT/TEL等均表示中國(guó)客戶(hù)需求強(qiáng)勁，且訂單具有持續(xù)性。
據(jù)星礦數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)2023年上半年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商中標(biāo)數(shù)量，共有252臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)，其中檢測(cè)設(shè)備111臺(tái)、薄膜沉積設(shè)備39臺(tái)、刻蝕設(shè)備20臺(tái)。從A股上市公司來(lái)看，精測(cè)電子、北方華創(chuàng)、華虹公司、正帆科技、張江高科、拓荊科技和中微公司的具體中標(biāo)情況見(jiàn)下圖：
其中，精測(cè)電子是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域領(lǐng)軍企業(yè)之一，東方證券蒯劍等9月5日研報(bào)指出，精測(cè)電子在膜厚、OCD、電子束等多款設(shè)備領(lǐng)域在國(guó)內(nèi)已建立領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，已覆蓋2Xnm及以上制程，同時(shí)已獲得多家客戶(hù)批量訂單，截至1季報(bào)披露公司半導(dǎo)體領(lǐng)域在手訂單8.91億元，截至中報(bào)披露公司半導(dǎo)體領(lǐng)域在手訂單已達(dá)13.65億元，呈現(xiàn)快速增長(zhǎng)趨勢(shì)。在技術(shù)難度更高的明場(chǎng)光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，公司已完成首臺(tái)套交付，同時(shí)已取得更先進(jìn)制程訂單，卡位優(yōu)勢(shì)明顯，未來(lái)有望持續(xù)放量。
華虹公司作為A股年內(nèi)最大IPO，8月7日首發(fā)上市。華金證券李蕙7月19日研報(bào)指出，華虹公司是中國(guó)大陸特色工藝晶圓代工龍頭，產(chǎn)能規(guī)模居中國(guó)大陸第二；作為半導(dǎo)體核心生產(chǎn)環(huán)節(jié)晶圓代工的大陸主要供應(yīng)商之一，公司有望較好地受益于我國(guó)半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。公司實(shí)控人為上海市國(guó)資委，獲大基金持股13.67%，成立以來(lái)公司深耕特色工藝晶圓代工；立足于55nm及以上成熟制程，公司目前已形成了包括嵌入式/獨(dú)立式非易失性存儲(chǔ)器、功率器件、模擬與電源管理、邏輯與射頻等多個(gè)特色工藝技術(shù)平臺(tái)，是中國(guó)大陸最大的特色工藝晶圓代工企業(yè)。
正帆科技為國(guó)內(nèi)較早開(kāi)展為泛半導(dǎo)體行業(yè)客戶(hù)提供超高純工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)的專(zhuān)業(yè)供應(yīng)商。天風(fēng)證券潘暕等8月25日研報(bào)指出，正帆科技在泛半導(dǎo)體、光纖通信、醫(yī)藥制造等領(lǐng)域積累了強(qiáng)大的客戶(hù)資源，包括中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、京東方、三安光電、亨通光電、恒瑞醫(yī)藥、 SK 海力士、德州儀器等國(guó)內(nèi)外優(yōu)質(zhì)客戶(hù)。訂單方面，22年度鴻舸半導(dǎo)體獲得了國(guó)內(nèi)頭部工藝設(shè)備商的廣泛認(rèn)證，新簽訂單迅速放量，2023年上半年實(shí)現(xiàn)凈利潤(rùn)4791.93萬(wàn)元。鴻舸半導(dǎo)體填補(bǔ)GAS BOX的國(guó)產(chǎn)化空白，為工藝設(shè)備上游的零部件國(guó)產(chǎn)化做出了重要貢獻(xiàn)。
東吳證券周爾雙等8月29日研報(bào)指出，拓荊科技作為薄膜沉積設(shè)備國(guó)產(chǎn)領(lǐng)軍者，不斷擴(kuò)大PECVD通用介質(zhì)薄膜材料工藝和先進(jìn)介質(zhì)薄膜材料工藝的應(yīng)用覆蓋面，持續(xù)獲取批量訂單和批量驗(yàn)收，繼續(xù)保持競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，具備持續(xù)擴(kuò)張的潛力；ALD方面，PE-ALD設(shè)備PF-300TAstra獲得原有客戶(hù)和新客戶(hù)訂單，NF-300HAstra實(shí)現(xiàn)首臺(tái)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用；Thermal-ALD出貨至不同客戶(hù)端進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證，驗(yàn)證進(jìn)展順利。更多股票資訊，關(guān)注財(cái)經(jīng)365！